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簡(jiǎn)要描述：HC160PE 程控精密勻膠機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺(tái)面式設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性
產(chǎn)品型號(hào)：HC160PE廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家 更新時(shí)間：2022-01-04訪 問 量：4052 產(chǎn)品分類
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可編程精密勻膠機(jī)
型號(hào)：HC160PE
HC160PE程控精密勻膠機(jī)，采用高級(jí)PLC 全自動(dòng)程序控制，轉(zhuǎn)速精度高，穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
特點(diǎn)：
l 設(shè)計(jì)緊湊，可放置在手套箱內(nèi)；
l 4.3英寸彩色觸屏控制，人機(jī)界面；
l 不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕；
l 經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；
l 內(nèi)腔壁采用*的凹面設(shè)計(jì)，有效防濺；
l 高級(jí)PLC全自動(dòng)程序控制，可編程；
l 帶真空度安全互鎖檢測(cè)功能；
l 帶蓋子安全互鎖檢測(cè)功能；
l 帶排廢接口；
l 配置一個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠接口，可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)；
l 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；
l 配置可調(diào)基座，方便調(diào)節(jié)水平；
技術(shù)參數(shù)：
l 適用晶元尺寸范圍：?10~160mm；
l 旋涂速度：100~12000rpm；
l 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；
l 旋涂加速度：100-30000rpm/s；
l 旋涂時(shí)間：3000s；
l 旋涂時(shí)間精度：0.1s；
l 內(nèi)腔直徑220mm，內(nèi)腔壁采用*的凹面防濺設(shè)計(jì)；
l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；
l 電源輸入：AC200-230V；
設(shè)備外形尺寸：長(zhǎng)X寬X高：310X254X250mm
HC160PE程控精密勻膠機(jī)
HC160PE程控精密勻膠機(jī)
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