安賽斯光彈系數(shù)測(cè)試儀(ANA6000P-V)是應(yīng)用偏振光干涉原理對(duì)應(yīng)力作用下能產(chǎn)生人工雙折射材料做成的力學(xué)構(gòu)件模型進(jìn)行實(shí)驗(yàn)應(yīng)力測(cè)試的儀器,簡(jiǎn)稱光彈儀。應(yīng)用它可以測(cè)試 SiC晶圓、手機(jī)膜、顯示屏、石英玻璃等器件內(nèi)部的應(yīng)力雙折射/殘余應(yīng)力,以圖像形式直觀觀察被測(cè)件的應(yīng)力分布和應(yīng)力集中情況。
主要技術(shù)參數(shù):
1.測(cè)試面積(即光源尺寸)
標(biāo)準(zhǔn)尺寸為300 mm×300mm,其它尺寸可以定制,最大600mm×500mm;
2.相機(jī)參數(shù)
2248*2048原始分辨率,輸出4幅1224*1024的偏振圖像。幀率36或79。
3.應(yīng)力雙折射量程
基本型: 量程為工作波長(zhǎng)的1/4(以紅光為例,量程即157.5nm);
增強(qiáng)型:2296nm。需要采用藍(lán)、綠兩種顏色的光源進(jìn)行測(cè)試,并進(jìn)行相位解包裹處理;
4.測(cè)試分辨率與精度
以 0.8mm 厚的鈣鈉玻璃為例:應(yīng)力測(cè)試的分辨率為 0.2MPa:應(yīng)力測(cè)試的精度:1.0MPa。
應(yīng)力雙折射的測(cè)試分辨率:0.1nm, 精度:1.0nm;
產(chǎn)品特色:
與傳統(tǒng)/常規(guī)的光彈儀相比,本光彈儀具有如下特點(diǎn):
1.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單
主要部件包括:偏振光源、傾斜平臺(tái)(用于晶體試件測(cè)試)、濾光片轉(zhuǎn)輪、像素偏振相機(jī)、高配筆記本電腦(內(nèi)存 16G 以上)及處理軟件,不含任何可旋轉(zhuǎn)的光學(xué)偏振器件。
2.操作簡(jiǎn)單,可以實(shí)現(xiàn)快速甚至實(shí)時(shí)測(cè)試
只需一次拍照即可同時(shí)獲取試件的相位差場(chǎng)和主應(yīng)力方向場(chǎng),避免了傳統(tǒng)方法在定量測(cè)試時(shí)的復(fù)雜操作,且在平面應(yīng)力的條件下可以分離出各應(yīng)力分量;
3. 靈敏度高且不受環(huán)境光的干擾
測(cè)試靈敏度是傳統(tǒng)光彈法/設(shè)備的兩倍(物理靈敏度),且無(wú)論相位差多小,都可以用最大的灰度梯度圖像表示(顯示靈敏度高);由于采用不同偏振圖像之間的相減運(yùn)算,使得測(cè)試幾乎不受環(huán)境光的干擾。
4.多種測(cè)試波長(zhǎng)可選并快速切換
切換方式包括RGB 三色 LED 光源(中心波長(zhǎng)分別為:625nm、525nm 和 465nm)的切換以白光光源下不同的窄帶濾光片的輪換。
5.可以根據(jù)客戶要求定制產(chǎn)品
在某些特殊情況下,客戶需要用自己的相機(jī)和光源,我們可以根據(jù)需要對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行定制,滿足客戶的需要。
對(duì)徑壓縮圓盤的相位差場(chǎng)分布
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U型塊壓彎組合實(shí)驗(yàn):
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光彈性方法直觀,能直接顯示應(yīng)力集中區(qū)域,并準(zhǔn)確給出應(yīng)力集中部分的量值;它不但可以得到便捷應(yīng)力而且能夠求的結(jié)構(gòu)的內(nèi)部應(yīng)力。特別是這一方法不受形狀和載荷的限制,可以對(duì)工程復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行應(yīng)力分析。